sf6氣體回收裝置的真空泵。
(1)真空度不高的原因和消除方法
sf6氣體回收裝置真空泵出口檢查,全壓強不高,旋去加油塞無明顯漏氣聲,可能存放不當,有水汽進入泵內(nèi),應更換新油。
無漏氣聲,換油無效,應檢查閥座上小油孔是否堵塞,小孔位置在泵的短閥片處月形槽內(nèi)。
接入系統(tǒng)后真空度不高,可能是系統(tǒng)接頭,管道閥門,各類設備有漏氣,應逐一捉漏檢查,排除故障。
sf6氣體回收裝置泵未經(jīng)拆卸清洗,突然出現(xiàn)撞擊聲,真空度下降,可檢查旋片彈簧是否折斷,或有無異物進入泵內(nèi)。
泵使用日久,真空度漸有下降,可能是潤滑油混入可凝性氣體和潤滑油裂介變質(zhì),以及零件老化所致,可用換油、換零件,逐一試驗。
泵拆裝后,有大漏氣聲,可能是橡膠件裝配不當,損壞,應調(diào)整或更換。
sf6氣體回收裝置排氣閥片老化變形、損壞或螺釘拉脫,會出現(xiàn)異樣氣聲和油面的顯著泛動,也會影響真空度,應調(diào)整重裝。
以上措施均無效,又無漏氣聲,可能使用日久,零部件磨損或受腐蝕所致,也可能是轉(zhuǎn)子變形,精度降低,甚至轉(zhuǎn)子、旋片等零件損壞,應拆開檢查,修整或換上新零件。