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      離子蝕刻機 20IBE-C 用于蝕刻 FSD 車載 AI 芯片

      發(fā)布時間:2024-09-21
      某ai芯片公司研發(fā)部采用伯東20ibe-c用于蝕刻fsd車載ai芯片,去除制造過程中產(chǎn)生的污染物,提高ai芯片的表面均勻度.
      hakuto離子蝕刻機20ibe-c技術參數(shù)如下:
      ф4 inch x 6片
      基板尺寸
      < ф3 inch x 8片< ф4 inch x 6片< ф8 inch x 1片
      樣品臺
      樣品臺可選直接冷卻/間接冷卻, 0-90度旋轉
      離子源
      20cm考夫曼離子源
      均勻性
      ±5% for 8”ф
      硅片蝕刻率
      20 nm/min
      溫度
      <100
      hakuto離子蝕刻機20ibe-c產(chǎn)品圖如上圖,其主要構件包括pfeiffer分子泵, kri考夫曼離子源,觸摸屏控制面板,真空腔體,樣品臺.如下圖:
      hakuto離子蝕刻機20ibe-c的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國考夫曼博士創(chuàng)立的kri考夫曼公司的射頻離子源rficp220.
      伯東kri射頻離子源rficp 220技術參數(shù):
      離子源型號
      rficp 220
      discharge
      rficp射頻
      離子束流
      >800 ma
      離子動能
      100-1200 v
      柵極直徑
      20 cm φ
      離子束
      聚焦
      流量
      10-40 sccm
      通氣
      ar, kr, xe, o2, n2, h2,其他
      典型壓力
      < 0.5m torr
      長度
      30 cm
      直徑
      41 cm
      中和器
      lfn 2000
      *可選:燈絲中和器;可變長度的增量
      hakuto離子蝕刻機20ibe-c的樣品臺可以0-90度旋轉,實現(xiàn)晶圓反應面均勻地接受離子的轟擊,進而實現(xiàn)提高晶圓的加工質量.
      hakuto離子蝕刻機20ibe-c配套的是伯東pfeiffer渦輪分子泵hipace 700.
      伯東pfeiffer渦輪分子泵hipace 700技術參數(shù):
      2707-operating voltage: v dc
      48(±5%)v dc
      ar的壓縮比
      > 1 · 1011
      ar的抽速
      665l/s
      ar的最終轉速時的氣體流量
      3.5 hpa l/s|2.62 torr l/s|3.5 mbar l/s
      h2的壓縮比
      4 · 105
      h2的抽速
      555l/s
      h2的最終轉速時的氣體流量
      > 14 hpa l/s|> 10.5 torr l/s|> 14 mbar l/s
      he的壓縮比
      3 · 107
      he的抽速
      655l/s
      he的最終轉速時的氣體流量
      10 hpa l/s|7.5 torr l/s|10 mbar l/s
      i/o接口
      rs-485,遠程, profibus
      n2的壓縮比
      > 1 · 1011
      n2的抽速
      685l/s
      n2的zui大預真空
      11百帕
      n2的最終轉速時的氣體流量
      6.5 hpa l/s|4.88 torr l/s|6.5 mbar l/s
      不帶氣鎮(zhèn)的最終壓力
      1 · 10-7百帕
      允許冷卻水的溫度
      15–35°c攝氏度
      冷卻水消耗最小值
      100l/h
      冷卻水耗量
      100l/h
      冷卻類型,可選項
      空氣
      冷卻類型,標準

      聲壓水平
      ≤50db(a)分貝(a)
      安裝方向
      任何
      排氣連接
      g 1/8
      接口,擴展
      profibus
      方位
      混合動力
      zui大允許磁場
      6mt
      根據(jù)pneurop的最終壓力
      < 1 · 10-7百帕
      電子驅動單元
      帶有tc 400
      電流zui大值
      8,75 a
      耗電量max.
      420瓦
      轉速a± 2 %
      49,200 rpm|49,200 min-1
      轉速可變化
      60–100
      運行時間
      2分
      連接法蘭(入口)
      dn 160 iso-f
      連接法蘭(出口)
      dn25iso-kf/g?
      重量
      12.1千克
      防護等級
      ip54
      若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論,請參考以下聯(lián)絡方式:
      上海伯東:羅先生
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